يستخدم مستشعر الضغط رقاقة سيليكون أحادية البلورية من النوع N كركيزة. أولاً ، يتم تصنيع رقاقة السيليكون في عضو يحمل قوة مطيلة بنمط هندسي معين. هنا ، يتم وضع موضع الحاملة للقوة لرقاقة السيليكون البلورية المفردة في أربعة مقاومات منتشرة من النوع P على طول اتجاهات بلورية مختلفة ، ثم تُستخدم المقاومات الأربعة لتشكيل أربعة جسر Wheatstone ، تحت تأثير القوة الخارجية ، التغيير من قيمة المقاومة تصبح خرج إشارة كهربائية. جسر ويتستون هذا مع تأثير الضغط هو قلب مستشعر الضغط ويسمى بشكل عام دائرة الجسر المقاوم للضغط (الشكل 1). خصائص دائرة الجسر المقاوم للضغط هي: قيمة المقاومة للأذرع الأربعة لدائرة الجسر هي نفسها (كل R0) ؛ إن التأثير المقاوم للضغط للأذرع المجاورة لدائرة الجسر له نفس القيمة الاسمية والعلامات المعاكسة ؛ ③ مقاومة الأذرع الأربعة لدائرة الجسر. معامل درجة الحرارة هو نفسه ، وبنفس درجة الحرارة من البداية إلى النهاية. في الشكل ، R0 هي قيمة المقاومة عندما لا يكون هناك إجهاد في درجة الحرارة الداخلية ؛ 墹 RT هو التغير الناتج عن معامل درجة الحرارة للمقاومة (α) عندما تتغير درجة الحرارة ؛ 墹 Rδ هو تغير المقاومة الناتج عن قوة الضغط (ε) ؛ الجسر جهد الخرج هو u=I0 و Rδ=I0RGδ (جسر مصدر تيار مستمر)
في الصيغة ، I0 هو تيار مصدر التيار الثابت ، و E هو جهد مصدر الجهد الثابت. يرتبط الجهد الناتج لدائرة الجسر المقاوم للضغط على الفور ارتباطًا إيجابيًا بقوة الضغط (ε) ، ولا علاقة له بـ RT الناجم عن معامل درجة حرارة المقاوم ، مما يقلل بدرجة كبيرة من انجراف درجة حرارة المحرِّض. يعد مستشعر ضغط أشباه الموصلات الأكثر استخدامًا هو جهاز استشعار لاختبار ضغط السوائل. الهيكل الرئيسي هو جميع الصناديق الغشائية المكونة من المواد الخام للخلايا الكهروضوئية (الشكل 2). يتكون الحجاب الحاجز على شكل كوب ، وداخل الكوب جزء من القوة الخارجية ، ودائرة جسر الضغط مصنوعة في قاع الكأس. استخدم نفس مادة السيليكون أحادية البلورة لعمل قاعدة دائرية ، ثم اربط الحجاب الحاجز بالقاعدة. يتميز هذا النوع من مستشعرات الضغط بالحساسية العالية ، والحجم الصغير ، والتصلب ، وما إلى ذلك ، وقد تم استخدامه على نطاق واسع في شركات الطيران ، والفضاء ، والأجهزة ، والمعدات الطبية.
